等离子体渗氮用微脉冲电源的研制

来源 :中南民族大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：IceMilo

【摘要】

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研制开发了一种等离子体渗氮用高频微脉冲电源,其工作频率在100 kHz以上,能很好地抑制弧光放电和空心阴极效应,能更有效地实现小孔径内表面等特殊条件下的离子渗氮处理.

【作者】

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【机构】

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中南民族大学化学与生命科学学院

【出处】

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中南民族大学学报(自然科学版)

【发表日期】

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2002年1期

【关键词】

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