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<正> 一、前言特种气体中约有三分之二是有毒的,特别是有剧毒的烷类气体,如砷烷、磷烷和乙硼烷,其允许极限浓度(TLV)分别为0.05、0.3和0.1ppm。随着大规模集成电路迅速发展,一些单位的引进线上,配套带来了一些特气报警装置。为了检验报警器是否达到
特种气体的低浓配气和报警器的调试
【摘 要】
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<正> 一、前言特种气体中约有三分之二是有毒的,特别是有剧毒的烷类气体,如砷烷、磷烷和乙硼烷,其允许极限浓度(TLV)分别为0.05、0.3和0.1ppm。随着大规模集成电路迅速发展,
【机 构】
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华北电力学院
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1989年1期
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