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本文针对光刻机工件台技术中所要求的指标,建立了系统的电机模型,设计出终端控制系统,采用三环控制策略,并进行了宏动跟微动的控制策略仿真,并且分析了控制系统的误差,在实际应用中取得了很好的效果。
光刻机工件台控制系统设计
【摘 要】
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本文针对光刻机工件台技术中所要求的指标,建立了系统的电机模型,设计出终端控制系统,采用三环控制策略,并进行了宏动跟微动的控制策略仿真,并且分析了控制系统的误差,在实际
【机 构】
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哈尔滨工业大学控制科学与工程系
【出 处】
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自动化技术与应用
【发表日期】
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2012年10期
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