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采用金属有机化学汽相沉积（MOCVD）设备在LiGaO2（100）衬底上制备了结晶性能良好的非极性ZnO薄膜。研究了衬底温度对ZnO薄膜结晶性能的影响。X射线衍射(XRD)分析结果表明在衬底温度为500 ℃时可以获得高质量的（1100）晶面取向的非极性ZnO薄膜。采用原子力显微镜(AFM)观察ZnO薄膜的表面形貌及晶体尺寸，观察到500 ℃生长的ZnO薄膜表面更加平整，晶粒分布均匀，粗糙度均方根值（RMS）为0.626 nm。光致发光(PL)光谱结果显示，ZnO薄膜的带边发光峰均位于375 nm，但是在较低温度下（400 ℃）生长时黄光峰较强，说明低温生长时结晶性能较差，且缺陷较多。