【摘 要】
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为研究射频频率对容性耦合等离子体在工业应用上的影响,基于流体模型对氩气等离子体的参数及其分布情况进行了理论仿真研究。通过模拟不同射频频率条件下的氩气容性耦合等离子体,得到了电子密度及电子温度等参数的分布特征。结果显示:等离子体的电子密度随着频率的升高而升高,而电子温度则随着频率的升高而降低;极板间垂向轴线上的电子温度分布显示在射频电极附近出现电子温度峰。本文还研究了频率对于极板间等离子体参数径向分布的影响。
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为研究射频频率对容性耦合等离子体在工业应用上的影响,基于流体模型对氩气等离子体的参数及其分布情况进行了理论仿真研究。通过模拟不同射频频率条件下的氩气容性耦合等离子体,得到了电子密度及电子温度等参数的分布特征。结果显示:等离子体的电子密度随着频率的升高而升高,而电子温度则随着频率的升高而降低;极板间垂向轴线上的电子温度分布显示在射频电极附近出现电子温度峰。本文还研究了频率对于极板间等离子体参数径向分布的影响。
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