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对高功率固体激光装置中，光学元件波前经过变形镜校正后的梯度均方根指标开展了研究。建立了变形镜校正效果的等效分解方法，分析了校正波前的部分相干叠加特性，对校正波前的梯度均方根与焦斑尺寸的对应关系进行了研究。解决了在有变形镜校正时，如何制定元件波前梯度均方根指标的问题。研究结果对高功率固体激光装置的光学元件波前指标制定有指导意义。