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利用传统微电子加工与纳米组装技术构建出了金属颗粒调制的复合碳纳米管场效应及单电子器件。电子输运性能测量结果表明这类复合碳纳米管电子器件具有一些不同于一般碳纳米管电子器件的独特性能。
金属颗粒调制的复合碳纳米管电子器件的构建和特性测量
【摘 要】
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利用传统微电子加工与纳米组装技术构建出了金属颗粒调制的复合碳纳米管场效应及单电子器件。电子输运性能测量结果表明这类复合碳纳米管电子器件具有一些不同于一般碳纳米管
【机 构】
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北京大学电子学系,中国科学院物理研究所电子显微镜实验室,中国科学院微电子中心
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2003年B05期
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