低损耗离子交换玻璃基光波导制备与分析

来源 :无机材料学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Boogie

【摘要】

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考虑到离子交换和离子扩散工艺的特殊要求, 设计并熔制了适合于离子交换工艺的硅酸盐玻璃材料SiO2-B2O3-Al2O3-R’O-R2O（R’=Ca, Mg; R=Na, K）. 采用Ag＋/Na＋熔盐离子交换和电场辅

【作者】

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郝寅雷郑伟伟江舒杭谷金辉孙一翎杨建义李锡华周强

【机构】

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浙江大学信息与电子工程学系

【出处】

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无机材料学报

【发表日期】

：

2009年5期

【关键词】

：

离子交换玻璃光波导 ion-exchange glass optical waveguide

【基金项目】

：

浙江省科技厅科技计划项目（2007C21022）,973计划项目（2007CB613405）,国家自然科学基金（60777015）,浙江大学优秀青年教师资助计划项目

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考虑到离子交换和离子扩散工艺的特殊要求, 设计并熔制了适合于离子交换工艺的硅酸盐玻璃材料SiO2-B2O3-Al2O3-R’O-R2O（R’=Ca, Mg; R=Na, K）. 采用Ag＋/Na＋熔盐离子交换和电场辅助离子扩散工艺在这种玻璃材料基片上获得了掩埋式条形光波导. 光学显微镜和电子探针分析表明高折射率的Ag＋扩散区位于玻璃基片表面以下约10μm处, 形成光波导的芯部. 光波导芯部尺寸约为8μm×8μm, 与单模光纤芯径尺寸相当, 保证了较低的光纤耦合损耗. 对光波导的测量结果得出：在波

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