【摘 要】
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用热丝化学气相沉积（HFCVD）制备金刚石薄膜涂层之前，采用两步酸腐蚀和三步酸腐蚀对WC-Co硬质合金（YG6）基体表面进行去Co预处理。SEM形貌观察、X射线衍射谱和EDAX能谱分析都表明，与
【机 构】
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武汉工程大学等离子体化学与新材料重点实验室
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用热丝化学气相沉积（HFCVD）制备金刚石薄膜涂层之前，采用两步酸腐蚀和三步酸腐蚀对WC-Co硬质合金（YG6）基体表面进行去Co预处理。SEM形貌观察、X射线衍射谱和EDAX能谱分析都表明，与两步腐蚀方法相比，三步酸腐蚀处理表面去Co效果更加好，沉积金刚石薄膜的压痕图更证实其对涂层质量的改善，并且该方法可以减少预处理时间，更适宜于工业生产。
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