面向RF IC的片上铁氧体磁膜电感

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：haoz8

【摘要】

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采用集成工艺制作了片上铁氧体磁膜（Ni0.4Zn0.4Cu0.2Fe2O4，Y2.8Bi0.2Fe5O12和Co7ZrO9）射频微电感．铁氧体薄膜采用溶胶凝胶法制作，高频特性较好，适于片上电感的应用．对电感样品进行了

【作者】

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杨晨刘锋任天令刘理天

【机构】

：

清华大学微电子学研究所

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

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2006年05B期

【关键词】

：

铁氧体薄膜电感射频集成电路 Ferrite thin-film Inductor RF IC

【基金项目】

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美国自然科学基金资助（0302449）,中国自然科学基金资助（90607021）

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采用集成工艺制作了片上铁氧体磁膜（Ni0.4Zn0.4Cu0.2Fe2O4，Y2.8Bi0.2Fe5O12和Co7ZrO9）射频微电感．铁氧体薄膜采用溶胶凝胶法制作，高频特性较好，适于片上电感的应用．对电感样品进行了测试和等效电路分析，结果表明，与无磁膜结构相对比，铁氧体磁膜电感显著增强了电感性能，是一种实现小尺寸、高性能片上RF IC电感的很有前景的途径．

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