【摘 要】
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本文通过分析硅压阻式压力传感器的特性,提出了通过微处理对其温度误差进行补偿的两种方法.其中第二种方法是在测量压力的同时测量与温度有关的量,并以此对传感器进行温度补
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本文通过分析硅压阻式压力传感器的特性,提出了通过微处理对其温度误差进行补偿的两种方法.其中第二种方法是在测量压力的同时测量与温度有关的量,并以此对传感器进行温度补偿,从而使这类传感器有可能应用于温度变化较频繁的场合.
Based on the analysis of the characteristics of silicon piezoresistive pressure sensor, two methods are proposed to compensate the temperature error by micro-processing, the second one is to measure the temperature-related quantity while measuring the pressure, Sensors for temperature compensation, so that such sensors may be used in temperature changes more frequently.
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