【摘 要】
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本文引入的差分发射探针技术，主要用于测量等离子体电势。其中主要采用了直流加热探针和反馈环控制偏压电路，使等离子体电势的直接、连续和自动指示成为可能。与比较成熟的单探
【机 构】
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大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
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本文引入的差分发射探针技术，主要用于测量等离子体电势。其中主要采用了直流加热探针和反馈环控制偏压电路，使等离子体电势的直接、连续和自动指示成为可能。与比较成熟的单探针测量技术相比，本文给出的方法测量结果正确，操作简单，能自动跟踪指示。
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