Design of GGNMOS ESD protection device for radiationhardened 0.18 μm CMOS process

来源 :半导体学报:英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wangyaofengw
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In this paper,the ESD discharge capability of GGNMOS(gate grounded NMOS)device in the radiation-hardened 0.18μm bulk silicon CMOS process(Rad-Hard by Process:RHBP)is optimized by layout and ion implantation design.The effects of gate length,DCGS and ESD i
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