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开发了一种电极丝辅助激振微细孔电火花加工设备，主要由微细电极丝伺服进给与导向模块、加工状态监测与控制模块、高频脉冲电源、微细电极丝辅助激振模块以及工作液循环系统等组成。采用拉拔微细钨丝作为工具电极，可加工直径100～300μm的微孔及阵列微细孔。实验结果表明，使用直径0．07mm的电极丝可连续稳定地进行阵列微孔的加工（孔径为100μm，16X16阵列）。加工使用的微细电极丝最小直径为50μm。