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对压电晶体微位移器的位移精度进行了论述,分析了PZT位移的倾斜性,编制了软件;对其位移的倾斜性进行了理论计算,并给出计算结果.对拟建立的测试方法进行了理论分析.
压电晶体微位移器位移精度及测试的理论分析
【摘 要】
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对压电晶体微位移器的位移精度进行了论述,分析了PZT位移的倾斜性,编制了软件;对其位移的倾斜性进行了理论计算,并给出计算结果.对拟建立的测试方法进行了理论分析.
【机 构】
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南京理工大学,电光学院,南京,210094
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2004年期
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