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微电子CAD系统PC—SUPREM和PC—SEDAN及其应用研究

来源 :济南大学学报(综合版) | 被引量 : 18次 | 上传用户：yaoyaoyy1188

【摘 要】

：

微电子集成电路工艺模拟系统SUPREM及半导体器件特性模拟系统SEDAN是微电子CAD系统中的核心内容,也是我国微电子工业技术环节中的一个薄弱环节.本文较全面地介绍了微电子工艺模拟及半导体器件模拟的PC实用系统和有关应用方面的研究.特别是SUPREM同SEDAN的接口联机模拟,极大地增强了模拟信息量.最大限度地实施了以上两系统的模拟功能.

【作 者】

：

孙广增 

【机 构】

：

山东工业大学

【出 处】

：

济南大学学报(综合版)

【发表日期】

：

1995年01期

【关键词】

：

微电子 集成电路 工艺模拟 Microelectronic  Integrated circuits   Technique simulation 

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微电子集成电路工艺模拟系统SUPREM及半导体器件特性模拟系统SEDAN是微电子CAD系统中的核心内容,也是我国微电子工业技术环节中的一个薄弱环节.本文较全面地介绍了微电子工艺模拟及半导体器件模拟的PC实用系统和有关应用方面的研究.特别是SUPREM同SEDAN的接口联机模拟,极大地增强了模拟信息量.最大限度地实施了以上两系统的模拟功能.

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