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为解决量传溯源问题,广东省计量科学研究院依托国家质量监督检验检疫总局科研项目“微纳米薄膜厚度的量值溯源及膜厚测量仪器校准技术研究”,以及广东省科学技术厅科研项目“微纳米尺度薄膜台阶标样及膜厚量传体系研究”,研制出了微纳米线宽标准样板、纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度标准样品等产品,
广东计量科学研究院完成多项微纳米技术科研项目
【摘 要】
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为解决量传溯源问题,广东省计量科学研究院依托国家质量监督检验检疫总局科研项目“微纳米薄膜厚度的量值溯源及膜厚测量仪器校准技术研究”,以及广东省科学技术厅科研项目“
【出 处】
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润滑与密封
【发表日期】
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2017年21期
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