【摘 要】
：
TaN和NiCr是Al GaN/GaN HEMTs微波集成电路中薄膜电阻最为常用的两种材料.文中对比了在SiC衬底上生长的这两种材料的薄膜电阻的可靠性.通过TaN和NiCr薄膜电阻的对比,发现TaN
【基金项目】
：
国家重点基础研究发展计划（批准号：2002CB311903）与中国科学院重点创新（批准号：KGCX2-SW-107）资助项目
论文部分内容阅读
TaN和NiCr是Al GaN/GaN HEMTs微波集成电路中薄膜电阻最为常用的两种材料.文中对比了在SiC衬底上生长的这两种材料的薄膜电阻的可靠性.通过TaN和NiCr薄膜电阻的对比,发现TaN薄膜电阻的方块电阻（Rs）随着退火温度的上升而增大,然而NiCr薄膜电阻的Rs却出现相反的趋势.同时发现随着退火温度的上升TaN薄膜电阻的Rs和接触电阻（RC）的变化远远小于NiCr薄膜电阻的变化.在400℃退火及等离子刻蚀机的氧等离子暴露后,TaN薄膜电阻的Rs只下降了0.7Ω,大概2.56% ,并且RC上升
其他文献
在小学教学阶段，数学教育属于基础性的科目，课程重要性较高，但是因为学生的年龄特征、学习习惯、兴趣爱好等因素，小学数学教育效果并不是非常理想。在小学数学教育中，因为分组的不
变式教学是具有中国特色的教学方式，高中教师在平时教学中会自觉或不自觉地使用了变式教学。但很多数学教师对变式教学理论和实践的认识不够透彻，因此，对变式教学的实践进行探讨
随着“BEPS”行动计划的顺利推进与国际税收情报自动交换程度的加深，我国企业对外投资除了面临着传统的风险外，还将面临国际税收秩序规则不断发展带来的新风险。我国应充分利用
本文通过对外币折算损益产生的原因及其分类的分析，采用国际上和我国现行会计核算制度程序对外币折算损益处理的不同特点，分类型分析了外币折算损益对会计报表产生的影响
关于高校思想政治工作继承与创新问题的思考王扎西在我国由社会主义计划经济体制向市场经济体制的转型时期，人们的思维方式、行为准则、价值取向都有了新的变化。这种变化使得
在进行以课本为基本内容的授业解惑中，教师应该深入挖掘教材内容中丰富的美育内涵，切不可把它视为单纯的条条框框，照本宣科，而应使学生在课堂活动的过程中得到真的启示，善的教育和
语文课堂导入是一门艺术,教师如能抓住一段精彩的导语,不但能扣住学生的心弦,激起学生的兴趣,而且能发散学生的思维,唤起学生强烈的求知欲望。要想上好一节成功的语文课,离不
思维导图在高中英语阅读教学中运用的比较多,比如说在课前预习的阶段、课堂中以及课堂后都能够进性良好的运用。此外,思维导图还能够帮助学生了解并掌握思维导图的使用,大大
随着社会的不断发展,“互联网+”的信息化时代的发展也在推动中职物理混合式教学,物理学科是一门理论性和实践性都要求很高的学科,传统的教学方式已经不能够很好的满足学生的
略论元好问的人生取向谢泰峰马克思和恩格斯在《神圣家族》中写道：“历史不过是追求着自己目的的人的活动而已。”在绚丽多彩、奔腾不息的历史文化巨流中，１３世纪前期的中国北部孕