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用激光干涉测长仪测量长度和位移时产生误差的因素很多，必须引以注意。激光测长是用图1所示的光学系统以干涉条纹计数的方式进行的。由He-Ne激光器发出的激光束射向分束棱镜，把光束分为直线前进的和与原光轴成直角的两部分，分别射向直角棱镜。由直角棱镜反射后再返回分束棱镜,产生干涉,最后射向激光头中的光探测器。