【摘 要】
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采用直流磁控溅射法,以柔性PET（聚对苯二甲酸乙二醇酯）为基底,通过参数优化以求在室温下制备高性能ZnO/Ag/ZnO多层薄膜。实验中,使用X射线衍射仪（XRD）、原子力显微镜（AFM）、紫外-可
【机 构】
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上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海理工大学上海市现代系统光学重点实验室
【基金项目】
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国家重点研发与发展资助项目(2016YFB1102303);国家自然科学基金资助项目(61775140;61775141)
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采用直流磁控溅射法,以柔性PET（聚对苯二甲酸乙二醇酯）为基底,通过参数优化以求在室温下制备高性能ZnO/Ag/ZnO多层薄膜。实验中,使用X射线衍射仪（XRD）、原子力显微镜（AFM）、紫外-可见分光光度计、四探针电阻测试仪等仪器分别对ZnO/Ag/ZnO多层薄膜的微观结构、表面形貌、透过率及方块电阻进行测试及表征。结果表明,随着Ag层厚度增加,薄膜方块电阻急剧下降,通过改变ZnO层厚度,可有效调节薄膜光学性能,随着ZnO层厚度增加,可见光区平均透过率先增大后减小。引入品质因子FTC作为评价指标可知,当
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