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氮化铝薄膜织构的极图法研究
氮化铝薄膜织构的极图法研究
来源 :无机材料学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xpzcz1987
【摘 要】
:
在X射线衍射结果的基础上,采用极图法研究了AlN薄膜以(002)和(100)面的取向分布,发现在一定条件下制备的AlN(002)有很强的织构,并通过极图法来确定X射线衍射所无法确定的AlN(
【作 者】
:
许小红
武海顺
马文瑾
段静芳
李佐宜
【机 构】
:
华中科技大学电子科学与技术系,山西师范大学化学与材料科学学院,华中科技大学电子科学与技术系
【出 处】
:
无机材料学报
【发表日期】
:
2003年2期
【关键词】
:
氮化铝薄膜
极图
织构
aluminium nitride thin films pole-figure method texture
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在X射线衍射结果的基础上,采用极图法研究了AlN薄膜以(002)和(100)面的取向分布,发现在一定条件下制备的AlN(002)有很强的织构,并通过极图法来确定X射线衍射所无法确定的AlN(100)面择优取向薄膜中各晶粒c轴间的关系.
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