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近几年来,具有类金刚石特性的氢化非晶碳膜(a—C:H)受到了越来越多的重视。本文详细综述了它的制备、结构、特性及应用。
一种新的非晶态材料—氢化非晶碳膜
【摘 要】
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近几年来,具有类金刚石特性的氢化非晶碳膜(a—C:H)受到了越来越多的重视。本文详细综述了它的制备、结构、特性及应用。
【出 处】
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合肥工业大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2004年期
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