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以电感耦合等离子体（ICP）刻蚀工艺制备单晶硅微齿轮陈列模具，采用热丝法化学气相沉积（HFCVD）制备出结构精细的金刚石微齿轮，其齿顶圆直径约1．55mm、齿轮厚度10μm。应用扫描电镜分别观察了ICP刻蚀的硅微齿轮模具及CVD金刚石微齿轮，表明齿轮微结构形貌精细，金刚石微齿轮较好地复制了硅微细结构；Raman光谱分析表明微齿轮的金刚石质量较高。此工艺可以实现金刚石薄膜的精细图形化，为面向微机械应用的金刚石器件的经济批量制备提供了一种途径。