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介绍了一种用于曝光机的对准显微物镜设计及结果分析,物镜采用共轭距无限远类型,针对传统的用于照相的双高斯结构进行了复杂化设计,并对光学系统进行了优化,实现了长工作距离、平场和长景深。
双高斯复杂化结构显微物镜设计
【摘 要】
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介绍了一种用于曝光机的对准显微物镜设计及结果分析,物镜采用共轭距无限远类型,针对传统的用于照相的双高斯结构进行了复杂化设计,并对光学系统进行了优化,实现了长工作距离
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2011年6期
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