【摘 要】
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本文提出了用几何光学分析象散法离焦检测系统的新方法，建立了离焦信号ＦＥＳ与光学系统各参数之间的关系，为设计和分析提供了理论依据，在此基础上设计了探测区间为－２５～＋２５μｍ的离焦检测系统，给
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
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本文提出了用几何光学分析象散法离焦检测系统的新方法，建立了离焦信号ＦＥＳ与光学系统各参数之间的关系，为设计和分析提供了理论依据，在此基础上设计了探测区间为－２５～＋２５μｍ的离焦检测系统，给出了实测与理论分析的结果
In this paper, a new method of analyzing astigmatism defocusing system by geometrical optics is proposed. The relationship between defocus signal FES and optical system parameters is established, which provides a theoretical basis for the design and analysis. On the basis of this, Range of -25 ~ +25μm defocus detection system, gives the results of actual measurement and theoretical analysis
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