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多晶硅铸锭炉技术改进及优化方法分析
多晶硅铸锭炉技术改进及优化方法分析
来源 :山东工业技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shirley09liu
【摘 要】
:
本文详细分析了当前多晶硅铸锭炉生产过程中普遍采用的工艺流程、设备及控制系统,总结归纳了当前技术改进及优化的重点和方法。
【作 者】
:
胡涛
【机 构】
:
巨力新能源股份有限公司硅片厂设备管理部
【出 处】
:
山东工业技术
【发表日期】
:
2015年08期
【关键词】
:
多晶硅
铸锭炉
技术改进
优化方法
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本文详细分析了当前多晶硅铸锭炉生产过程中普遍采用的工艺流程、设备及控制系统,总结归纳了当前技术改进及优化的重点和方法。
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