【摘 要】
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采用微波等离子体化学气相沉积法，以玻璃作为基底，通入 CH4和 H2，在改变沉积气压的条件下研究类金刚石（DLC）薄膜的生长情况。再利用紫外–可见–近红外分光光度计、激光 Raman 光
【机 构】
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武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室
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采用微波等离子体化学气相沉积法，以玻璃作为基底，通入 CH4和 H2，在改变沉积气压的条件下研究类金刚石（DLC）薄膜的生长情况。再利用紫外–可见–近红外分光光度计、激光 Raman 光谱仪和场发射扫描电子显微镜分别对制备出的 DLC 薄膜的光透过率、质量以及表面形貌进行表征与分析。结果表明：随着沉积气压的逐渐增大，可见光范围内的光透过率随之增大，类金刚石粒径逐渐减小，膜表面的团聚体尺寸逐渐减小、平整度提高。
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