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采用磁控溅射法制备TiNi非晶薄膜。通过X射线衍射（XRD）、透射电子显微镜（TEn）等方法研究了TiNi合．金薄膜的组织形貌、电子衍射花样，并对其相变过程进行了动态观察。结果表明：态薄膜为非晶态，对其在515℃进行1h的晶化处理后，薄膜中析出了TiNi3相；晶化处理后的TiNi合金薄膜加热到100℃时，薄膜中R相和马氏体相以切变方式完全转变为奥氏体；当冷却至室温时，是以R相、马氏体相以及少量的奥氏体相存在。其加热过程中的相劐顶序为：马氏体相→R相→奥氏体相。冷却过程中的相变顺序为：奥氏体相→R相→马氏体