【摘 要】
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液晶显示制造中的缺陷检测和修复工艺(下文简称Repair设备)是提高产品良率的重点工艺。也是融合了缺陷检测、修复技术、激光处理、薄膜特性分析和电路等效分析等多种技术的综
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液晶显示制造中的缺陷检测和修复工艺(下文简称Repair设备)是提高产品良率的重点工艺。也是融合了缺陷检测、修复技术、激光处理、薄膜特性分析和电路等效分析等多种技术的综合性工艺技术。[1]Repair设备具有X2、X10、X20、X50倍率的镜头,在C级防震的工作环境中实现对良率提升的帮助。Repair设备所有的修补动作,几乎都是在不断的聚焦和切镜中完成。本方案通过CF Repair镜头改造的方式,提供了一种简洁的动作流程,从而提高了修补效率,以实现对产能提升的贡献。
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