侧链型聚合物DANS—PMMA脊形条波导的制备

来源 :发光学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wi7474974

【摘要】

：

有机聚合物的紫外漂白，经过一系列复杂的光化学反应，会使聚合物薄膜的折射率和厚度降低。在此基础上，利用金属掩模对聚合物薄膜进行选择性紫外漂白，制备出聚合物脊形条波导。紫外

【作者】

：

张平高福斌邢汝冰

【机构】

：

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

【出处】

：

发光学报

【发表日期】

：

2001年2期

【关键词】

：

紫外漂白侧链型聚合物 DANS-PMMA 脊形条波导 UV photobleaching sidechain polymer DANSPMMA ridge

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有机聚合物的紫外漂白，经过一系列复杂的光化学反应，会使聚合物薄膜的折射率和厚度降低。在此基础上，利用金属掩模对聚合物薄膜进行选择性紫外漂白，制备出聚合物脊形条波导。紫外漂白不需要对聚合物薄膜进行光刻和腐蚀便可获得边缘和表面比较整齐和光滑的脊形条波导，对减少波导的散射损耗十分有利。本文介绍了利用紫外漂白和金属掩模方法制备侧链型聚合物DANS(4-dimethylamino-4’nitro-stlibene)PMMA(polymethyl methacrylate)脊形条波导的工艺过程，并对关键工艺进行了讨论

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