【摘 要】
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熔石英表面激光损伤发展问题一直制约着激光器的运行通量。采用CO2激光在线熔融修复损伤点，修复后形成一个光滑的高斯坑，去除了损伤点中的裂纹，平滑了凹凸不平的表面，并且在紫外脉冲激光作用下，修复斑再次产生损伤的阈值高于熔石英元件的损伤生长阈值。因此CO2熔融修复技术能有效地抑制损伤发展。通过分析CO2激光作用下熔石英表面的温度分布，讨论修复坑的形成过程，确定激光参数对修复效果的影响，为寻找最佳修复参数提供理论基础。同时利用原子力显微镜(AFM)、轮廓仪细致分析损伤点和修复斑的微细结构，采用有限差分时域方法计算
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室,上海201800中国科学院研究生院,北京100049
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熔石英表面激光损伤发展问题一直制约着激光器的运行通量。采用CO2激光在线熔融修复损伤点，修复后形成一个光滑的高斯坑，去除了损伤点中的裂纹，平滑了凹凸不平的表面，并且在紫外脉冲激光作用下，修复斑再次产生损伤的阈值高于熔石英元件的损伤生长阈值。因此CO2熔融修复技术能有效地抑制损伤发展。通过分析CO2激光作用下熔石英表面的温度分布，讨论修复坑的形成过程，确定激光参数对修复效果的影响，为寻找最佳修复参数提供理论基础。同时利用原子力显微镜(AFM)、轮廓仪细致分析损伤点和修复斑的微细结构，采用有限差分时域方法计算损伤点和修复斑周围的光强分布，探索消除裂纹和平滑表面对抑制损伤生长的作用。
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