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薄层电阻经常被用于PCM以及SPICE模同时我们可以看到,随偏压的变化,JFET器件中的埋层电阻也发生相应的变化.本文研究了条形电阻和范德堡两种标准结构的电阻,同时利用2D、3D器件模拟,给出了优化电阻测试的路径和方法.
范德堡和条状结构埋层电阻的测试及研究
【摘 要】
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薄层电阻经常被用于PCM以及SPICE模同时我们可以看到,随偏压的变化,JFET器件中的埋层电阻也发生相应的变化.本文研究了条形电阻和范德堡两种标准结构的电阻,同时利用2D、3D器
【机 构】
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中国电子科技集团公司第58研究所
【出 处】
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电子与封装
【发表日期】
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2005年4期
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