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本文介绍了聚酰亚胺(PI)剥离技术的实验过程以及影响成品率的因素。采用该技术,用一般国产设备、常规工艺可获得0.5～1.5μm厚、间距≥4μm、条宽≥3μm的多层金属和多元合金引线。它不受衬底凹凸不平的影响,可一次成形,获得线条笔直、精细的图形。
多层金属引线成形新方法——聚酰亚胺剥离技术的应用
【摘 要】
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本文介绍了聚酰亚胺(PI)剥离技术的实验过程以及影响成品率的因素。采用该技术,用一般国产设备、常规工艺可获得0.5～1.5μm厚、间距≥4μm、条宽≥3μm的多层金属和多元合金引
【机 构】
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机电部第二十四研究所
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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1991年05期
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