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固体电解质（玻璃）与硅片通过阳极连接可以实现良好键合。采用SEM和EDS对界面结构进行了分析。连接的过程与由耗尽层产生的静电场力有紧密关系，通过建立的模型分析了电场力产生的原因。实验表明：温度、压力、连接时间、表面光洁度、电压是影响连接质量的重要因素，优化连接参数是形成良好连接界面的前提。
固体电解质（玻璃）与硅的阳极连接机理及界面分析
【摘 要】
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固体电解质（玻璃）与硅片通过阳极连接可以实现良好键合。采用SEM和EDS对界面结构进行了分析。连接的过程与由耗尽层产生的静电场力有紧密关系，通过建立的模型分析了电场力产生的
【机 构】
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太原理工大学材料科学与工程学院
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2006年F05期
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