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采用增大U型多晶硅微电热致动执行器冷臂厚度的方法，对其因受限翘曲变形诱发的法向接触力进行放大。有限元数值模拟结果表明，采用该方法可以获得比微执行器级联阵列更好的放大效果。
U型多晶硅微电热执行器法向接触力放大新方法
【摘 要】
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采用增大U型多晶硅微电热致动执行器冷臂厚度的方法，对其因受限翘曲变形诱发的法向接触力进行放大。有限元数值模拟结果表明，采用该方法可以获得比微执行器级联阵列更好的放大
【机 构】
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青岛科技大学机电工程学院
【出 处】
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机械制造
【发表日期】
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2009年12期
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