用接触式干涉仪测量零件的圆度

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棱圆是圆度的一种,它的截面轮廓由许多不同半径及不同心的圆弧所组成,所以棱圆不能用测量直径的方法来检测。比较常用的方法是在V形铁上测量,精度要求高的则必须在圆度仪上测量。我厂产品中有直径8.5毫米的零件,要求圆度不大于0.3μm,但我厂没有圆度仪,而一般用于V形法的指示器(如千分表等)精度又不够,因此,我们以接触式干涉仪作为V形法的示值指示器进行测量。测量结果与圆度仪的测量结果基本一致。由于用接触式干涉仪,其示值误差为: Rounded circle is a kind of roundness, its cross-sectional profile by a number of different radii and different centers of the arc, so the circle can not be used to measure the diameter of the method to detect. The more common method is to measure the V-shaped iron, the high precision requirements must be measured on the circularity meter. I plant the product has a diameter of 8.5 mm parts, circularity of not more than 0.3μm, but I do not have a roundness meter, and generally used for V-shaped indicator (such as dial indicator, etc.) accuracy is not enough, therefore, We use a contact interferometer as a V-shaped indicator of the measurement. Measurement results and roundness measurement results are basically the same. As a result of contact interferometer, the indication error is:
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