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介绍了铟锡氧化物（ＩＴＯ）薄膜的特性，主要生产工艺及其在汽车，宇航，建筑，电子等领域的应用，并对该材料生产工艺及产品市场的发展前景进行了展望。
铟锡氧化物薄膜的生产,应用与开发
【摘 要】
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介绍了铟锡氧化物（ＩＴＯ）薄膜的特性，主要生产工艺及其在汽车，宇航，建筑，电子等领域的应用，并对该材料生产工艺及产品市场的发展前景进行了展望。
【机 构】
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北京有色金属研究总院,100088
【出 处】
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稀有金属与硬质合金
【发表日期】
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1997年3期
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