【摘 要】
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随着半导体技术的发展,对半导体生产工艺的测量和评估的需求也在不断地提高。为此针对某半导体测量设备的实时测量需求,在Windows+RTX的平台下,设计并开发了具有强实时性的测
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随着半导体技术的发展,对半导体生产工艺的测量和评估的需求也在不断地提高。为此针对某半导体测量设备的实时测量需求,在Windows+RTX的平台下,设计并开发了具有强实时性的测量软件系统。系统的底层测量软件利用RTX提供的API和精确的时钟开发完成,其运行在RTX拓展系统中控制数据采集卡实时采集数据。上层用户界面使用MFC编制完成,并采用信号量机制与底层软件进行通信,通过共享内存传递测量数据。该软件系统开发完成后,部署在某测量设备上并进行实验,其实验数据表明该系统能很好地完成实时数据测量的任务。
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