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利用X射线衍射(XRD)和喇曼(Raman)光谱对在陶瓷基底上近距离升华(CSS)制备的纯CdTe薄膜以及稀土镝(Dy)离子5×10^14cm^-2高剂量注入的CdTe薄膜进行结构和喇曼特性分析,并讨论了离子注入后的退火效应.研究结果表明,退火处理基本消除了离子注入引起的的损伤,稀土Dy离子的掺人改善了CdTe薄膜的结晶性能,增强了CdTe薄膜的喇曼活性.同时喇曼光谱的结果给出了CdTe薄膜中Te沉积物的存在情形.