【摘 要】
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研究了新型热释电材料驰豫铁电单晶(1-x)Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-xPbTiO3(PMNT)的低损伤减薄工艺、电极成型和耦合封装等关键技术,研制了基于PMNT的单元热释电探测器。对减薄后约30
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室红外成像材料与器件重点实验室,中国科学院研究生院,
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研究了新型热释电材料驰豫铁电单晶(1-x)Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-xPbTiO3(PMNT)的低损伤减薄工艺、电极成型和耦合封装等关键技术,研制了基于PMNT的单元热释电探测器。对减薄后约30μm晶片材料性能的测试分析表明,部分样品的热释电系数约为9.0×10-4 C/m2 K,无明显衰减。采用低噪声电路提取单元探测器的微弱热释电电流,对所研制的单元探测器性能进行了测试分析。
The key technologies of low damage thinning process, electrode molding and coupling packaging of the novel pyroelectric material-relaxed ferroelectric single-crystal (1-x) Pb (Mg1 / 3Nb2 / 3) O3-xPbTiO3 (PMNT) PMNT based unit pyroelectric detector. The test analysis of the material properties of the thinned wafer about 30μm showed that the pyroelectric coefficient of some samples was about 9.0 × 10-4 C / m2 K with no obvious decay. The weak pyroelectric current of the unit detector is extracted by the low noise circuit, and the performance of the unit detector developed is tested and analyzed.
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