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在一种增强型多弧镀膜装置上，实现了低温等离子体渗氮同氮化钛硬质膜沉积联合处理工艺。通过扫描电镜对膜层结构的分析，氮化钛硬质膜与基体之间具有相适应的力学性能，并在膜基界面处形成氮化物的混合层。通过对膜基结合力的定量测试，证实该工艺大幅度提高了膜基结合力。
等离子体渗氮与氮化钛膜沉积一体化工艺对膜基结合力的影响
【摘 要】
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在一种增强型多弧镀膜装置上，实现了低温等离子体渗氮同氮化钛硬质膜沉积联合处理工艺。通过扫描电镜对膜层结构的分析，氮化钛硬质膜与基体之间具有相适应的力学性能，并在膜基界
【机 构】
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西北核技术研究所
【出 处】
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强激光与粒子束
【发表日期】
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2002年1期
【基金项目】
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西北核技术研究所高新技术资助课题
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