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【摘 要】
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究了用低压金属有机物化学沉积方法生长得到的具有不同 Mg掺杂浓度的 Ga N样品薄膜 ,经不同温度退火处理后的发光特性 .实验发现随着退火温度的升高 ,不同掺杂浓度的 Mg∶ Ga
【机 构】
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清华大学电子工程系集成光电子学国家重点实验室,清华大学电子工程系集成光电子学国家重点实验室,清华大学电子工程系集成光电子学国家重点实验室,清华大学电子工程系集成光电子学国家重点实验室,清华大学电子工程
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2002年11期
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