【摘 要】
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采用超高分子量聚乙烯(UHMWPE)表面金属化及类金刚石薄膜沉积复合处理工艺,提高超高分子量聚乙烯的耐磨性。首先采用磁过滤阴极真空弧源沉积技术(FCVA)在UHMWPE表面制备约30n
【机 构】
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西南交通大学材料先进技术教育部重点实验室,西南交通大学物理科学与技术学院
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采用超高分子量聚乙烯(UHMWPE)表面金属化及类金刚石薄膜沉积复合处理工艺,提高超高分子量聚乙烯的耐磨性。首先采用磁过滤阴极真空弧源沉积技术(FCVA)在UHMWPE表面制备约30nm钛金属层,使UHMWPE表面金属化,然后再沉积DLC薄膜,研究结果表明,UHMWPE表面金属化后,DLC薄膜沉积过程中,电荷累积效应消除,使DLC薄膜的沉积速率、sp3键含量、硬度、耐磨性提高。
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