【摘 要】
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目的从微观角度实现对微机电系统中微器件局部接触区域弹塑性演化过程和原子迁移演变规律的探寻。方法运用经典分子动力学法,基于EAM和Morse混合势函数,对硬质金刚石探头与软
【机 构】
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衢州学院工程实训中心,宁德师范学院信息与机电工程学院
【基金项目】
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浙江省基础公益研究计划(LGG19F020005),福建省自然科学基金(2017J01709,2018J01509,2018J01556),宁德师范学院重大科研培育项目(2017ZDK19),2017年福建省互联网+大学生创新创业教育省级载物手推车项目。
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目的从微观角度实现对微机电系统中微器件局部接触区域弹塑性演化过程和原子迁移演变规律的探寻。方法运用经典分子动力学法,基于EAM和Morse混合势函数,对硬质金刚石探头与软质金属铜基底展开纳米压痕接触特性研究。结果纳米压痕中位错环构型生成与演变有规可循,位错环在受载荷影响时,有着4个演变阶段,即位错环萌芽期→生长期→繁衍期→维持期。当载荷达到一定程度时,压痕中铜基质内密排六方结构的HCP容易与附近类似结构发生关联耦合效应,产生刃型位错和形成螺旋式位错结构,随后以脱落方式构成棱柱形位错结构,并向基底底部发射。
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