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着重分析了步进扫描工作台的气浮结构及原理,指出了气浮设计及控制中需要注意的一些问题。
步进扫描工作台气浮结构分析
【摘 要】
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着重分析了步进扫描工作台的气浮结构及原理,指出了气浮设计及控制中需要注意的一些问题。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2003年03期
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