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某产业化多晶硅生产项目在生产过程中，应用负压抽空装置，缩短了还原炉开炉时间，提高了生产效率，节约了置换用气（N2和H2），降低了生产成本。本文就改良西门子法多晶硅生产工艺及水环式抽空装置在其生产过程中的应用进行了简要说明。
浅谈负压抽空装置在多晶硅生产过程中的应用
【摘 要】
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某产业化多晶硅生产项目在生产过程中，应用负压抽空装置，缩短了还原炉开炉时间，提高了生产效率，节约了置换用气（N2和H2），降低了生产成本。本文就改良西门子法多晶硅生产工艺及水环式
【机 构】
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昆明冶研新材料股份有限公司
【出 处】
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中国科技纵横
【发表日期】
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2013年12期
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