【摘 要】
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针对变截面微柱的局域电沉积制备开展了实验与仿真模拟,采用直径100μm的阳极针尖,通过改变连续提拉的步长制备了平均直径从92~293μm不等的自支撑微铜柱,探讨了提拉步长与铜
【机 构】
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常州大学机械工程学院,江苏省光伏科学与工程协同创新中心,常州市模具先进制造高技术研究重点实验室,江苏大学微纳米科学技术研究中心
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51105046,51335002),江苏省研究生科研创新计划项目(KYCX17_2087).
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针对变截面微柱的局域电沉积制备开展了实验与仿真模拟,采用直径100μm的阳极针尖,通过改变连续提拉的步长制备了平均直径从92~293μm不等的自支撑微铜柱,探讨了提拉步长与铜柱直径的关系,进而提出了一种变步长局域电沉积方法,并成功制备了中部最大直径为164μm的变截面纺锤形微铜柱,同时利用COMSOL软件建立了数值仿真模型,分析了纺锤形铜柱形成的原因,可为基于局域电沉积法的复杂微结构制备提供参考。
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