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介绍了故障树分析法的原理。以反应离子刻蚀（RIE）设备的典型故障为例，建立故障树，通过求解最小实际故障来进行定性分析。尝试扩展故障树在故障判断和改进真空系统可靠性方面的应用，得出几个有针对性的结论。该方法能提高故障诊断的效率和准确性。
故障树分析法在半导体设备故障诊断中的应用
【摘 要】
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介绍了故障树分析法的原理。以反应离子刻蚀（RIE）设备的典型故障为例，建立故障树，通过求解最小实际故障来进行定性分析。尝试扩展故障树在故障判断和改进真空系统可靠性方面的应
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2007年3期
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