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基于静电力显微镜（EFM）设计了一套在微纳米尺度下观察研究电介质表面电荷的系统。该系统设有温度和温度调节系统，可实现不同气体环境，并可模拟紫外照射功能。该系统为电介质表面电荷的研究提供了一种新的手段，为从微观尺度解释表面电荷的生成和行为特性提供了新的途径。
基于静电力显微镜的绝缘体表面电荷微纳米尺度测量系统
【摘 要】
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基于静电力显微镜（EFM）设计了一套在微纳米尺度下观察研究电介质表面电荷的系统。该系统设有温度和温度调节系统，可实现不同气体环境，并可模拟紫外照射功能。该系统为电介质表面
【机 构】
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中国科学院电工研究所,中国科学院研究生院,清华大学物理系
【出 处】
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绝缘材料
【发表日期】
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2007年2期
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