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本文报告了LaB_6阴极在电子束曝光机中的应用特性,叙述了一些有重要意义的实验结果。
LaB6阴极在电子束曝光机中的应用研究
【摘 要】
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本文报告了LaB_6阴极在电子束曝光机中的应用特性,叙述了一些有重要意义的实验结果。
【机 构】
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机械电子工业部第48研究所,机械电子工业部第48研究所长沙410111,长沙410111,长沙410111
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1992年3期
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